2021年12月17日,江蘇微導納米科技股份有限公司為客戶定制的高產能300mm龍系列半導體設備的各項性能指標均超出同類國產化設備,達到國際先進水平。微導近期喜獲多臺訂單,首套于今天順利發貨。
微導總經理周仁表示: 微導自主研發的此類產業化設備完全滿足先進制程對半導體設備性能的嚴格要求,適用于28nm乃至更先進技術節點的制程工藝設備,助力客戶在制程技術要求日趨復雜的背景下從容應對行業挑戰,同時也打破了客戶因國外設備壟斷而導致的發展瓶頸,進而有力推動半導體行業設備的多元化和產業化健康發展。