近期,光伏知名企業GW級 TOPCon高效光伏電池項目正式投片。微導以AEP (ALD Enabled Photovoltaics)技術為核心,為該項目提供全新TOPCon技術解決方案,打造行業領先的TOPCon高效電池生產線。
項目采用微導AEP TOPCon整線工藝技術,配備了微導自主創新研發的新型PEALD隧穿與摻雜多晶硅鈍化工藝設備、高效電池鈍化ALD設備以及自主創新開發的高溫擴散退火爐等高效電池核心設備。
微導AEP TOPCon技術優勢:采用九大步驟,四大類設備,在降低制造成本方面幫助客戶提升競爭力,也是PERC產線升級TOPCon技術的首選方案。超薄隧穿氧化硅與氧化鋁薄膜的先進ALD鍍膜工藝技術,其工藝效果的重復性與絨面上的保形性等特性均優于其他技術方案。
微導AEP高效TOPCon電池項目在整線初期評估環節,能減少客戶決策與規劃時間;一站式貫通的工藝以及明確的單站工藝控管指標,能加速產線交付達成;行業前沿的技術解決方案,各個環節充分規劃,最終協助客戶提升效率,縮短工藝調試時間,大幅提升產品競爭力。微導AEP (ALD Enabled Photovoltaics)技術將推動新一代TOPCon電池技術成為行業主流技術,成為具有強勁市場競爭優勢的GW級工廠量產技術。
項目采用微導AEP TOPCon整線工藝技術,配備了微導自主創新研發的新型PEALD隧穿與摻雜多晶硅鈍化工藝設備、高效電池鈍化ALD設備以及自主創新開發的高溫擴散退火爐等高效電池核心設備。
微導AEP TOPCon技術優勢:采用九大步驟,四大類設備,在降低制造成本方面幫助客戶提升競爭力,也是PERC產線升級TOPCon技術的首選方案。超薄隧穿氧化硅與氧化鋁薄膜的先進ALD鍍膜工藝技術,其工藝效果的重復性與絨面上的保形性等特性均優于其他技術方案。
羲和低壓擴散爐系統(左)祝融系列管式PEALD系統(右)
夸父系列原子層沉積ALD系統(下)