江蘇微導納米裝備科技有限公司

近期，光伏知名企業GW級 TOPCon高效光伏電池項目正式投片。微導以AEP (ALD Enabled Photovoltaics)技術為核心，為該項目提供全新TOPCon技術解決方案，打造行業領先的TOPCon高效電池生產線。

項目采用微導AEP TOPCon整線工藝技術，配備了微導自主創新研發的新型PEALD隧穿與摻雜多晶硅鈍化工藝設備、高效電池鈍化ALD設備以及自主創新開發的高溫擴散退火爐等高效電池核心設備。

微導AEP TOPCon技術優勢:采用九大步驟，四大類設備，在降低制造成本方面幫助客戶提升競爭力，也是PERC產線升級TOPCon技術的首選方案。超薄隧穿氧化硅與氧化鋁薄膜的先進ALD鍍膜工藝技術，其工藝效果的重復性與絨面上的保形性等特性均優于其他技術方案。

微導AEP高效TOPCon電池項目在整線初期評估環節，能減少客戶決策與規劃時間；一站式貫通的工藝以及明確的單站工藝控管指標，能加速產線交付達成；行業前沿的技術解決方案，各個環節充分規劃，最終協助客戶提升效率，縮短工藝調試時間，大幅提升產品競爭力。微導AEP (ALD Enabled Photovoltaics)技術將推動新一代TOPCon電池技術成為行業主流技術，成為具有強勁市場競爭優勢的GW級工廠量產技術。